삼성전자 액체 불화수소 일본산 대체품 투입

삼성전자가 반도체 생산공정에 일본산을 대체하는 액체 고순도 불화수소를 투입했다. 업계 관계자는 Asia Times와의 전화통화에서 ”일본산 액체 불화수소를 쓰던 공정 중 일부에 대체품을 사용하기 시작했다“고 말했다. 불화수소는 반도체와 디스플레이 패널의 세정이나 회로를 제외한 불필요한 부분을 깎아내는 식각용으로 사용된다. 액체와 기체가 있는데 이번에 삼성전자가 공정에 투입한 것은 액체 불화수소다. 업계의 한 관계자는 삼성전자가 사용하기 시작한 불화수소가 한국산을 […]