Tag: 고순도불화수소

디스플레이 업계가 일본에서 수입하던 고순도 불화수소를 한국산으로 대체하는 데 성공했다. 업계의 한 소식통은 “엘지디스플레이가 한국산 불화수소(에칭가스) 테스트를 마쳤고 조만간 생산공정에 투입할 것”이라고 말했다. 디스플레이 생산에서 불화수소는 주로 세정용으로 사용되고, 소량이 디스플레이 패널의 회로를 만들 때 회로를 제외한 불필요한 부분을 깎아내는 식각용으로도 사용된다. 디스플레이 식각용 불화수소도 반도체 식각용과 마찬가지로 초고순도를 요구하나 사용량이 많지 않다고 업계 관계자들은 […]